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      微电子ESD静电的防护简述
      发布时间:2021-01-05 09:51浏览次数:

      近年来,随着中国经济的快速发展,中国信息产业的技术水平不断提高,高分子材料和微电子器件在各个领域及其产品中得到广泛应用。ESD是微电子器件的主要威胁。ESD严重影响微电子器件的质量,并威胁器件的整体运行。为了?;の⒌缱悠骷?,有必要从设计、生产和运输等方面对电子器件进行静电?;?。

      ESD(静电放电)表示“静电放电”。静电是指物体表面相对静电荷的过?;虿蛔?,可能是正的,也可能是负的。由于“过剩”或“短缺”,静电荷处于不平衡状态,容易转移。

      ESD包括四个阶段。第一阶段是电荷的产生。电荷的产生是由摩擦或感应引起的。这个过程叫做静电起电。第二阶段是电荷转移。电荷的转移是由于两个物体之间的电势差。当两个物体的电势平衡时,电荷转移停止。第三阶段是电荷积累。静电荷可以通过中和或泄漏而减弱。当起电速度大于衰减时,电荷就会积累。比如人体与大地绝缘时,人体的静电荷可以高达1.5KV-35KV。第四阶段,快速释放。静电势不同的物体,由于直接接触或静电感应,引起物体之间的静电荷转移,也称为静电放电。这是静电场能量达到一定程度后放电的现象,也可能是空气中的带电离子在两个物体之间传导形成电流,产生小雪崩效应。

      ESD四个?;し较?/p>

      操作人员:人是静电的最大来源。人在行走和工作时会产生静电,接触或接近微电子器件时可能会产生静电放电。为减少人员因素,必须穿防静电服装、手套和防静电鞋,戴防静电手镯/脚链,并可靠接地。养成良好的工作习惯,远离没有防静电措施或措施不完善的静电敏感产品。

      设备:为了提高企业的生产能力,很多工序都使用自动化设备,这些设备的运行会产生大量的静电。在微电子器件的加工过程中,各种过程都会释放静电,大量微电子器件会失效。所有设备、仪器、手术台、凳子和架子都需要可靠接地。移动的旋转小车等?;褂νü沧熬驳缡头抛爸糜氲孛嫦嗔?。

      材料:台面和周转箱/包装盒在操作环境中采用抗静电/导电材料。

      环境:静电的产生与环境湿度成正比,即湿度越高,产生的静电越少。然而,高湿度环境容易导致生锈和腐蚀。综合考虑,电子生产车间的湿度一般保持在30%-70%RH。此外,离子风扇也可以用来中和静电荷。

      esd静电防护

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